2024-08-15
In processu metallico-organico vaporum chemicorum (MOCVD) depositio, susceptor est clavus componentis responsalis ad laganum sustinendum et ad uniformitatem ac subtilitatem processus depositionis servandam. Eius notae selectae materiales et producti directe immutant stabilitatem processus epitaxialis et qualitas producti.
MOCVD Susceptor(Metal-organic Depositio chemical Vapor) est processus key component in fabricando semiconductor. Maxime adhibitum est in MOCVD (Depositione Vapore-Metal-organico chemico) processus laganum ad sustinendum et calefaciendum laganum pro tenui pellicula depositionis. Consilium et materia delectu susceptoris crucial ad uniformitatem, efficientiam et qualitatem finalis producti.
Product Type and Material Elections:
Consilium et materia lectio MOCVD Susceptor diversa sunt, plerumque determinari per processum requisita et condiciones reactionis.Genera producta communia sunt et earum materiae:
SiC Coated Susceptor(Silicon Carbide Coated Susceptor):
Descriptio: Susceptor cum tunica SiC, graphite vel aliis materiis summus temperatus ut subiecta, et CVD SiC coating (CVD SiC Coating) in superficie ad meliorandum indumentum resistentiae et resistentiae corrosioni.
Applicatio: Late usus est in processibus MOCVD in caliditate caliditatis et in ambitu gasorum valde mordax, praesertim in epitaxia Pii et depositionis semiconductoris composita.
Descriptio: Susceptor cum TaC coating (CVD TaC Coating) ut materia principalis summam duritiem et firmitatem chemicam habet et usui maxime mordax in ambitibus est aptus.
Applicatio: Usus in MOCVD processibus qui corrosionem resistentiae et vires mechanicas requirunt, ut depositio gallii nitridi (GaN) et gallii arsenidis (GaAs).
Pii Carbide Coated Graphite Susceptor pro MOCVD:
Descriptio: Subiectum graphite est, et superficies iacuit CVD SiC obtegitur ut stabilitatem et longam aetatem in calidis temperaturis conservet.
Applicatio: Apta usui in instrumento ut reactor Aixtron MOCVD ad compositionem semiconductorem materiae altae qualitatem fabricandi.
EPI Susceptor (Epitaxy Susceptor):
Descriptio: Susceptor specialiter designatus ad processum incrementi epitaxialem, plerumque cum SiC Coating vel TaC Coating augendae scelerisque conductivity et diuturnitatem.
Applicatio: In epitaxia Pii et epitaxia semiconductor composita, adhibeatur ut calefactio uniformis et uncta depositio.
Praecipuum munus Susceptoris pro MOCVD in processus semiconductoris:
Laganum firmamentum et uniformis calefactio:
Munus: Susceptor ad lagana in MOCVD reactors fulciendum et praebendum uniformem calorem distribuendum per inductionem calefaciendi vel alias methodos ut depositionem movendi uniformem curet.
Calor conductio et stabilitas:
Munus: In scelerisque conductivity et scelerisque stabilitatem materiae Susceptor crucialorum sunt. SiC Coated Susceptor et TaC Coated Susceptor stabilitatem ponere potest in processibus summus temperaturas debitas suas princeps scelerisque conductivity et caliditas resistentia, vitans vitia pellicularum ex inaequabili temperie causata.
Corrosio resistentiae et longae vitae:
Munus: In MOCVD processu, Susceptor variis vaporibus chemicis praecursoris exponitur. SiC Coating et TaC Coating praeclaram corrosionem praebent resistentiam, commercium inter superficiem materialem et reactionem gasi minuunt, et vitam Susceptoris extendunt.
Optimization de reactionem environment:
Munus: Susceptores GENEROSUS usura, gas fluxus et campus temperatus in MOCVD reactor sunt optimized, cursus depositionis processum uniformem movendi et meliorandi cede et perficiendi fabrica. Solet in receptoribus in apparatu MOCVD Reactores et Aixtron MOCVD adhiberi.
Product Features and Technical Commoda:
Princeps scelerisque conductivity et scelerisque stabilitatem:
Features: SiC et TaC obductis Susceptores conductivity maxime altae scelerisque habent, cito et aequaliter calorem distribuere possunt, et stabilitatem structuram in calidis temperaturis conservare, ut lagana aequabilis calefactio conservetur.
Commoda: Apta processibus MOCVD qui accuratam temperiem temperantiae requirunt, ut epitaxial incrementum semiconductorum compositorum, ut gallium nitride (GaN) et gallium arsenide (GaAs).
Optimum corrosio resistentia:
Features: CVD SiC Coating et CVD TaC Coating altissimam inertiam chemicam habent et corrosioni resistere possunt a vaporibus valde corrosis ut chlorides et fluorides, substratum Susceptoris a damno tutantes.
Commoda: Extende vitam muneris Susceptor, reducere sustentationem frequentiam, et meliorem altiorem efficaciam MOCVD processus.
Princeps mechanica vi et duritia:
Features: Excelsa duritia et robur mechanicae SiC et TaC coatings efficiunt Susceptor sustinere accentus mechanicas in caliditas et altum pressura ambitus ac stabilitatem et praecisionem diu terminus conservare.
Commoda: Maxime apta processibus semiconductoribus fabricandis qui altam praecisionem requirunt, ut epitaxial incrementum et depositio vaporum chemicorum.
Forum Application et Development Expectationes
MOCVD Susceptoreslate adhibentur in fabricando clarissimae LEDs, potentiae electronicae machinis (ut GAN-HEMTs substructae), cellulae solares et aliae machinae optoelectronice. Cum incremento postulatio altioris effectus et potentiae inferioris semiconductoris machinas consummatio, MOCVD technicae artis progredi pergit, innovationem in susceptor materiarum et consiliorum agitans. Exempli gratia, technologiam enucleans SiC efficiens cum superiori puritate et inferiori defectu densitatis, et optimizing sistens consilium Susceptoris ad lagana maiora ac magis multiplex processus epitaxialis multi-strati.
VeTek semiconductor Technologiae Co., LTD est primarius provisor materiae efficiens provectae pro industria semiconductoris. societas nostra focus in solutiones incisionis ad evolutionem industriae explicandam.
Praecipua nostra producta oblationes includunt CVD pii carbidam (SiC) tunicas, tantalum carbidam (TaC) tunicas, molem SiC, pulveris SiC, et materiae puritatis altae SiC, susceptoris graphitici SiC obductis, annulis preheatis, annulorum distringere TaC, partium lunaris, etc. ., puritas infra 5ppm, elit requisita occurrere possunt.
VeTek umbilicus semiconductor in technologia incisurae technologiae explicans et evolutionis productum solutiones pro industria semiconductoris. Sincere optamus nos participes facti tui diuturnitatis in Sinis.